"又掉了。"他把手里的记录本往桌上一拍,"连续运行四小时,功率从520瓦一路掉到487瓦。一掉电,镀膜层就开始烧损——这就是个死循环。" 光源组十几号人,围在监测屏前,一片沉默。 "张工,"一个年轻工程师低声问,"这个问题,真就无解了?" "无解?"张工苦笑,"要是有解,我至于熬这第七个通宵?" 他指着屏幕上那根跳动的波纹:"LPP光源,用二氧化碳激光轰击锡滴产生等离子体。锡滴在激光下爆开,变成高温等离子体,发出极紫外光。原理不复杂,难就难在——锡滴炸开的时候,会有无数碎屑高速飞溅。" "飞溅的锡屑粘到收集镜上,镜面一脏,反射效率就往下掉。" "反射效率掉了,激光功率就得往上加;功率一加,锡滴汽化更...
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